■戴甄真/撰稿■

明志科技大學成立「薄膜科技及應用中心」,由謝章興博士率領專業團隊,共同發展薄膜材料研發與應用,由日本大阪大學引進鍍膜技術,致力於提升半導體業、精密機械的產業價值,甚至可廣泛運用到民生用品上,憑藉著該中心技術使國內產業在國際上營造更大的競爭力。

謝博士現任明志科大環資學院院長兼薄膜科技與應用中心主任,他在1985年就讀博士班時就開始研究抗腐蝕、裝飾用的薄膜及具保護性的硬膜。在美國芝加哥的國家實驗室,從事2年陶瓷引擎的研發工作,發現陶瓷引擎雖然硬度高、耐高溫,缺點是不耐磨,謝章興運用薄膜技術解決了機械磨損的問題,隨著微電子器件及先進製造技術的快速發展,薄膜科技正成為二十一世紀備受關注的熱點技術領域。

謝明章表示,薄膜科技是項能夠提升產品及產業價值的重要技術,所有先進國家皆因擁有高級薄膜技術而大幅度增加科技國力。當今台灣正需要一個擁有核心技術,可大量增加產品附加價值的產業結構,薄膜技術的發展可帶領台灣科技產業邁入一個新的紀元。

在強化研究開發環境方面,整合有關薄膜研究上、中、下游人力,匯集儀器設備,使研究及開發的工作易於進行,發展核心技術、落實技術生根。在推廣科學技術知識方面,可藉系統之教學、講習或研討會方式,介紹奈米薄膜科學技術知識及研究成果,並經產學合作、建教合作、測試分析、顧問服務方式,協助工業界解決薄膜技術有關問題。在人才培育方面,可配合國內外薄膜科技發展的趨勢及企業內外之需求,以培育薄膜檢測與分析、薄膜製程、薄膜設計等理論與實務兼備的工程師,或者,從事薄膜科技之研發人才。

薄膜科技與應用中心,共設立四間實驗室(先進物理鍍膜實驗室、先進化學鍍膜實驗室、薄膜與機械性質實驗室、大氣電漿及微影製程實驗室)、一間辦公室及一間大型會議室。初期以環資學院材料系為發展中心,目前材料系設有電子顯微鏡實驗室、X光繞射實驗室、物理氣相沉積實驗室、化學氣相沉積實驗室、薄膜溼製程實驗室、奈米檢測分析實驗室、陶瓷積體電路實驗室、光電高分子實驗室、光電檢測實驗室、電漿及功能性薄膜實驗室、半導體材料實驗室、電子材料實驗室、太陽能材料實驗室、材料及製程模擬實驗室、奈米資訊儲存實驗室。

在製程上有乾濕鍍膜設備計11套,在檢測儀器上除表面分析及磁性檢測之儀器外,已可和任何國內大學相比擬,可進一步建立與業界長期合作及伙伴關係,縮短學用差距,促進產學互動,並隨時可與長庚大學相關研發中心合作,充分運用資源。

一個成功的薄膜開發,需要充分了解各種薄膜的物理、化學、機械特性。由於薄膜科學與技術的研發相關技術層次高、系統複雜與精密性要求嚴格,在許多應用之上需要各種不同背景與專才的人員共同參與,因此整合不同系所甚至於不同學門的人力共同投入,成立專門的薄膜研發中心以推動薄膜科學與技術的整合發展,有其不可或缺的必要性。薄膜科學與技術的發展在近數十年來,在化學、能源、環保、生化、醫藥、食品、電子等許多近代工程與民生工業方面均扮演著及重要的角色。

中心將成立2個專案小組,1.產學研究組:推動與薄膜科技相關之學術與技術的開發應用,專利開發與技術轉移。其任務涵蓋學術研究與教育推廣。2.產學合作組:將聘請產學研發經理,主要工作與各公司行號建立產學合作橋樑,安排每週固定拜訪廠商,依廠商需求與研究組共同提供相關性服務與技術輔導,目前已有幾家公司與中心已簽訂合約,因有長期合作關係,每年均提撥經費贊助本中心。

謝章興未來將率領技術團隊往更深一層的電漿技術研究,把電漿技術領域發展運用到生醫領域上,再把電漿技術與鍍膜技術互相結合,開發出更新、更好的鍍膜,將來電漿技術更成熟的話,一方面不僅朝向學術發展,更積極與企業界結合,對人類的永續生存定能有所貢獻,更多訊息歡迎各界來電洽詢。連絡電話(02)2908-9899,地址:北縣泰山鄉貴子村工專路84號

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